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第一百九十三章 EUV极紫外光刻机199（第3页）

而狻猊智能机器人的组装生产线，其占地面积就更小。

仔细算一算，30米乘以30米的仓房，其900平方米的空间，应该支持罗海将两套生产线安装下来。

“没事，如果狻猊智能机器人的组装生产线厂房放不下，那就放在山洞机库里，反正空间够大。”罗海摇了摇头，接下来思考着，该如何获得尖端高性能光刻机。

超大规模集成芯片最为关键的核心加工设备，光刻机！

罗海在女娲对高烈度工作状态下收集到的测试数据，进行整理和分类时，心中默默地思考着：

“提纯方面和切片我不用担心，y1金属由纯能量构造而成，纯度无限接近于100%。那么，我需要的是，一台世界上最精密被誉为‘现代光学工业之花’的仪器，尖端高性能光刻机。”

光刻机，半导体制造核心加工设备，现代光学工业之花，世界上最精密的仪器！

一台低端光刻机，都有着数百万元的高昂价格。而一台尖端高性能光刻机，其价格更是高达数千万美元以上。

罗海静静思考着：“女娲，你说我该选择什么样的光刻机？”

“哥哥，首先y1金属材料的特性，会对液侵式光刻机产生影响，由此我们无法保证其精度和准确性。考虑到先进和应用程度，以及y1金属材料的特性，我们需要荷兰asl的极紫外光刻技术，也就是价格达到1.1亿美元采用极紫外光刻技术的nxe-3300b极紫外光刻机。”女娲第一时间将建议说了出来。

由于y1金属材料自身的特性，目前主流的193毫米波长的液侵式光刻机，进行光刻时，会对芯片造成不可磨灭的影响，所以女娲基本放弃液侵式光刻机。

而后，将目标放到全球最大半导体制造商之一荷兰asl公司身上，其科学团队研制的euv极紫外光刻机！

euv极紫外光刻机进行光刻时，并不会被y1金属的特性影响，而且其euc极紫外光刻机的13.5纳米曝光波长，是突破16纳米级芯片的关键技术。

如果采用16纳米级超大规模集成超导芯片，这绝对能让超导计算机的性能提升数个甚是数十个百分点。

目标——何兰asl公司euv极紫外光刻机！

“nxe-3300b型极紫外光刻机，这要求真不是一般的高。”罗海听到女娲给出的光刻机信息，嘴角抽了抽，脸上不禁露出一阵苦笑来。

nxe-3300b极紫外光刻机，由于时间和经济问题，从一年前的9千万美元，增长到单台1.1亿美元价格！

极为先进的nxe-3300b极紫外光刻机，数值孔径na为0.33，图像解析度达到22纳米。

每小时可以加工125片晶硅圆，其配套光源的持续功率最低要求为250w，单机套刻精度达到3.5纳米。

作为全世界最先进并且达到实用程度的nxe-3300b型极紫外光刻机，属于欧盟对华武器禁运和美国对华技术封锁中，最高级别的禁运机械，绝对严禁任何一台极紫外光刻机流入华夏。

现在让罗海去搞一台全华夏都没有的nxe-3300b型极紫外光刻机，这困难也太大了。

全世界，就荷兰asl一家公司拥有极紫外光刻机的成熟技术，拥有nxw-3100型和最新的nxe-3300b型极紫外光刻机。

“哥哥，这没办法，193毫米曝光波长技术的液侵式光刻机，对y1金属进行光刻时会造成毁灭性影响，其y1金属的特性无法支持液侵式光刻机进行作业。”女娲无奈的说道，她何尝不明白想要得到一台nxe-3300b型极紫外光刻机，有多么困难。

可是没有nxe-3300b型极紫外光刻机，如果想要在不暴露y1金属的情况下，采用y1金属制成超大规模集成芯片，这基本不可能。

“好吧，我尽力想想办法。”罗海听闻这番话，默默地点了点头，看来他要准备去一趟欧洲。

“女娲，你自己计算数据，我去申请一间仓房。”

休息数分钟后，女娲已经将整个高烈度工作状态的所有测试数据整理分类，并从其中找到各种各样的问题，罗海对着女娲说了一声，便起身离开03实验室，关闭大门准备去资源管理部申请一间仓房。

有李天民给罗海开的绿灯，资源管理部很快便通过罗海的申请要求，成功获得一间随时可以进行工业生产的高精密数控机床仓房。

仓房申请成功后，罗海接着开始拨打电话联系一家家军工厂，下单首付30%的定金，订购狻猊智能机器人的组装生产线。

给数家军工厂下单完，罗海拿着属于自己的仓房钥匙，顺着通道阶梯找到编号为02的仓房，开启合金大门，合理整齐摆放地十五台高精密数控机床，便进入罗海的视线中。

对于装备制造业最为关键高精密数控机床，罗海断然不会将它们搬走，这对他来说也有很大作用。

足足900平方米的仓房面积，减去这十五台高精密数控机床占据的面积，容纳一条产量稀少的芯片生产线和一条狻猊智能机器人组装生产线，毫无问题。

准备就绪，只欠东风！

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