妙笔文学

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第二百四十四章 举国之力的产物（第1页）

七月初，海湾科技再一次给徐申学报喜，说是已经研发出来了DUV干式光刻机的样机，正准备进行第一次开机测试。

得到这个消息后，徐申学推掉了其他的行程，当天就去了海湾科技。

抵达海湾科技后，王道林一脸喜色的带着徐申学参观了他们最新的研发成果：一台完全自研的DUV干式光刻机。

“从光源系统到物镜，再到机台等所有的子系统整合以及部分关键零部件，都是由仙女山控股旗下或柳河投资，智云科技旗下的兄弟公司所提供，此外这些子系统的背后所需要的众多零部件，除了我们自家的兄弟公司外，还有其他超过一千多家国内企业供应。”

“参与这个项目研发的企业数量，直接或间接达到了接近两千家，各类研究所一百多家，还有十多所著名高校也都参与了进来！”

王道林说着的时候，激动中更带着感叹：“这可是真正的举国之力才能搞出来的顶级设备啊！”

“我们硬是靠着一家之力，做到了整个欧美日韩整个西方体系整合起来才能做到的事情，这难度，比单纯研发一个光刻机更难。”

“如果是依托全球产业链，搞这东西虽然技术难度很高，但是我们要做的也只是系统整合工作而已，难度虽然有，但是不至于有什么代差，给我们ASML的零部件供应商，我都敢放话，最多一年时间就能够弄出来DUV浸润式光刻机甚至进军EUV光刻机！”

“但是我们没有这些全球范围的供应商啊，所以很多东西都只能自己在国内找，实在找不到就只能自己从头研发！”

“DUV光刻机的全部国产化，其难度大的惊人！”

“很多东西都要从原材料开始研发！”

王道林说着的时候，一旁的南江科技的研发部门负责人曹星辰也是接上了话头：“不错！”

“我们公司是搞物镜，为了这个DUV光刻机的物镜，我们是从材料到加工工艺，全都是重新搞的！”

“我们南江科技主导，还拉着一大票研究所，合作企业，同时展开了数十个新材料研究项目，挨个测试各种材料并对材料进行针对性的改进。”

“最终花了两年多时间，这才弄出来了堪用的材料！”

“但是弄出来材料还不行，然后还得加工啊！”

“这加工更难！”

曹星辰说的时候，也是回想起来了之前的研发困境，不由得感叹：“光刻机所需要的镜片精度是非常高的，通常需要达到波长的五十分之一，比如我们这DUV干式光刻机的光源波长是193纳米，五十分之一就是三点八六纳米！”

“这种精度的加工，几乎超过普通人的想象！”

“而我们南光之前在生产I-line光刻机镜片以及KRF光源镜片的时候，采用的是国内现有的一些技术，比如小磨头抛光、磁流变抛光等技术。”

“原有的这些技术用来加工DUV光刻机所需要的镜片还不够！”

“而且想要在原来的技术路线想要获得更大的突破，达到蔡司，尼康等厂家的水准难度非常大。”

“为了解决这一问题，我们的研发团队一边现有技术进行研发，一边开发新技术，其中的一项新技术得到了迅速发展，这就是离子束抛光技术。”

说到这个离子束抛光技术的时候，曹星辰整个人都变的激动了起来：

“这项技术虽然也很难研发，为此耗费了我们大量的人力物力，但是真正做出来后效果那是真的好啊！”

“利用该技术我们可以轻易的加工出来满足DUV干式光刻机需求的镜片，甚至后续工艺继续改进后，搞出来DUV浸润式光刻机的镜片也是问题不大！”

DUV干式光光刻机和浸润式光刻机，虽然使用的光源都是ARF光源，但是浸润式光刻机的光源经过超纯水的折射后，波长却是演变为134纳米。

因为两者虽然光源系统看似一样，但是对物镜以及其他子系统的要求是不一样的。

曹星辰继续说着：“甚至在这项技术上继续耕耘下去，未来是能够搞出来精度更高，可用于EUV光刻机所需要的镜片的！”

一代代光科技的技术升级，除了光源系统不断升级进步外，还需要其他诸多子系统的配合，而物镜就是这一系列子系统里最为关键的部分。

以上这两点是影响光刻精度最核心的子系统。

当然，其他方面，比如机台对准等也不能差就是了。

徐申学听着这些话，然后翻看着手中的技术手册，为了照顾徐申学这个不懂技术的人，这份技术手册用简单易懂的方式介绍了眼前的这台DUV干式光刻机的基本情况以及各子系统的情况。

也就是之前徐申学常年给自己挂着一个B级科研名额的外挂，然后闲着没啥事的时候也会经常学习，翻看一些技术，尤其是半导体领域的技术资料。

所以多少也能够看出来这技术资料上描述的各种技术参数，其背后意味着什么！

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